事業内容
化学気相成長装置の研究開発
・原料およびプロセスに関して、スクリーニングから高精度の成膜まで
一連の実験を短期間に終結させる装置作製
・安価な小型研究用装置の販売
化学気相成長装置を用いた依託実験
・半導体新規プロセス用の原料探索や基礎実験の依託成膜
・新規プロセスの販売、及び知財活用
新規化学気相成長用原料の開発と成膜評価
・原料候補の試作合成と成膜評価
・試作から評価へとすばやい動きによる開発を基にした知財獲得
少量高付加価値原料の販売
・化学気相成長用原料化合物の合成と分析
・通常行われない特殊化学分析
・化合物の蒸気圧測定、及び輸送実験
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保有技術
化学気相成長装置の設計・製作
・効率の良い研究開発を行うための小型気相成長装置
・常圧、低圧、ホットウォール、コールドウォール、フィラメント(cat.)、プラズマ、他
・低蒸気圧原料の輸送方法
化学気相成長装置を用いた成膜
・Co, Ru, Al, Cu, Ni, NiSi, NiPt, Au 等金属膜、バリアメタル膜
・Al2O3, HfO2, HfSiO2, MoS2 等、酸化膜、窒化膜、炭化膜、硫化膜
・成膜温度の低温化、高温化、膜のアモルファス化
成膜メカニズムの解析
・原料化合物の熱分解実験、混合実験
・反応室の形状、圧力、流速などの条件変化
・多種加工基板への成膜
化学気相成長用原料化合物の取扱い
・有機金属化合物の合成、分析
・空気中不安定な化合物の蒸気圧測定、及び不活性化（安全化）
Key words
Organometallics, Organometal, Metal organic, MOCVD, CVD, CVD precursor, Precursors, Semiconductor, Thin film, Metal thin films, Electronics,
ALD, ALD precursor, Reagents, Dopant, Doping, Products, Produce, Sales, Metallocene, Alkoxide,
Metaldiketonate, Diketone, Deuterated compounds,
Stable isotope, Catalyst, 有機金属、安定同位体、CVD原料開発、CVD原料製造・販売、有機金属試作、有機金属製造販売、有機金属処理
CVDプロセス開発、CVD成膜、CVDコンサルティング、有機金属蒸気圧測定、有機金属分析、不斉合成、触媒
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