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出願及び登録特許
'09年10月15日 LED関連特許出願 特願2009-237701, 特願2009-237943
'13年  4月12日 研究用CVD装置特許出願 特願2013-83468
'13年10月22日 次世代メモリ用Te原料特許出願 特願2013-219343
'14年  3月  7日 特許登録 トリアルキルアルミ(R3Al)の酸素除去方法 第5489155号
'14年  4月18日 特許登録 LED用Cp2Mgの量産方法 第5522670号
'15年  3月17日 Fe metal CVD 特許 特願2015-53049
'15年  4月24日 特許登録 TSV_Cu配線 第5734540号 (PCT/JP2014/079959)
'15年  9月28日 Mg metal CVD 特許 特願2015-189559
'15年  9月28日 Na free amidinate CVD原料合成 特願2015-189560
'15年  9月28日 固体原料の安定した揮発輸送方法 特願2015-189561
'15年11月30日 酸素・水バリア膜_ALD-Al2O3 特願2015-232700
'16年  1月11日 特許登録 低抵抗CoCVD 中華民国 第I516628号
'16年  2月10日 特許登録 低抵抗CoCVD 中華人民共和国 第1949731号
'16年  2月15日 水素の輸送技術・エネルギー関連特許出願 特願2016-26381
'16年  4月15日 特許登録 低抵抗CoCVD 第5916744号 東京エレクトロン株式会社との共同出願
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