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Diethylsilane                                      (C2H5)2SiH2
       CAS No. 542-91-6
Dimethyldichlorosilane                       (CH3)2SiCl2
       CAS No. 75-78-5
Dimethyldiethoxysilane                      (CH3)2Si(OC2H5)2
       CAS No. 78-62-6
d10-Dimethyldiethoxysilane               (CH3)2Si(OC2D5)2             stable isotope
Dimethyldimethoxysilane                   (CH3)2Si(OCH3)2
       CAS No. 1112-39-6
d6-Dimethyldimethoxysilane              (CH3)2Si(OCD3)2                stable isotope
Ethyltriethoxysilane                            C2H5Si(OC2H5)3
       CAS No. 78-07-9
d15-Ethyltriethoxysilane                     C2H5Si(OC2D5)3                stable isotope
Hexamethyldisilane                            (CH3)3SiSi(CH3)3
       CAS No. 1450-14-2
Hexamethyldisilazane                        HN[Si(CH3)3]2
       CAS No. 999-97-3
Methylphenyldichlorosilane               (CH3)(C6H5)SiCl2
       CAS No. 149-76-6
Methyltrichlorosilane                          CH3SiCl3 
       CAS No. 75-79-6
Methyltriethoxysilane                         CH3Si(OC2H5)3
       CAS No. 2031-67-6
d15-Methyltriethoxysilane                  CH3Si(OC2D5)3                  stable isotope
Methyltrimethoxysilane                      CH3Si(OCH3)3
       CAS No. 1185-55-3
d9-Methyltrimethoxysilane                CH3Si(OCD3)3                     stable isotope
Phenyltriethoxysilane                        C6H5Si(OC2H5)3
       CAS No. 780-69-8
d15-Phenyltriethoxysilane                 C6H5Si(OC2D5)3                stable isotope
Tetraethylsilane                                 (C2H5)4Si  
       CAS No. 631-36-7
d20-Tetraethylsilane                          (C2D5)4Si                            stable isotope
Tetrakisdimethylaminosilane             Si[N(CH3)2]4
       CAS No. 1624-01-7
Tetramethylsilane                              (CH3)4Si                 TMS
       CAS No. 75-76-3
d12-Tetramethylsilane                       (CD3)4Si                d12-TMS            stable isotope
Triethylsilane                                     (C2H5)3SiH
       CAS No. 617-86-7
d1-Triethylsilane                                (C2H5)3SiD                         stable isotope
Triethylsilylazide                                (C2H5)3SiN3  
Trimethylchlorosilane                        (CH3)3SiCl
       CAS No. 75-77-4
Trimethylethoxysilane                       (CH3)3SiOC2H5
       CAS No. 1825-62-3
d5-Trimethylethoxysilane                  (CH3)3SiOC2D5                   stable isotope
Trimethylmethoxysilane                     (CH3)3SiOCH3
       CAS No. 1825-61-2
d3-Trimethylmethoxysilane                (CH3)3SiOCD3                   stable isotope
Trimethylsilane                                   (CH3)3SiH            Consultation necessary
       CAS No. 993-07-7
d1-Trimethylsilane                              (CH3)3SiD            Consultation necessary            stable isotope
Trimethylsilylazide                             (CH3)3SiN3          
Trisdimethylaminosilane                    HSi [N(CH3)2]3      
       CAS No. 15112-89-7
Tetraethoxysilane                              Si(OC2H5)4             TEOS
       CAS No. 78-10-4
d20-Tetraethoxysilane                       Si(OC2D5)4             d20-TEOS       stable isotope
Tetraisopropoxysilane                       Si(i-OC3H7)4  
       CAS No. 1992-48-9
Tetramethoxysilane                           Si(OCH3)4              TMOS
       CAS No. 681-84-5
d12-Tetramethoxysilane                    Si(OCD3)4               d12-TMOS        stable isotope
Tetranormalbutoxysilane                   Si(n-OC4H9)4  
       CAS No. 4766-57-8
Triethoxyfluorosilane                         Si(OC2H5)3F  
       CAS No. 358-60-1
Triethoxysilane                                  HSi(OC2H5)3
       CAS No. 998-30-1
d15-Triethoxysilane                           HSi(OC2D5)3            
Trimethoxysilane                               HSi(OCH3)3
       CAS No. 2487-90-3
d9-Trimethoxysilane                          HSi(OCD3)3            
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